3273. &

& 同学最近很生气，因为他没有拿到校赛一等奖。

一气之下他决定把室友 & 了。他有 $n$ 个室友，从 $1$ 到 $n$ 编号，第 $i$ $(1\le i\le n)$ 个室友有一个生命值 $a_i$。如果能选出一组 $t_1,t_2,\hspace{0.17em}\dots ,\hspace{0.17em}{t}_k$ $(1\hspace{0.17em}\le t_1\hspace{0.17em}<t_2\hspace{0.17em}<\hspace{0.17em}\dots \hspace{0.17em}<\hspace{0.17em}{t}_k\hspace{0.17em}\le n)$ 使得 $a_{t_1}$ & $a_{t_2}$ & $\cdots$ & $a_{t_k}\hspace{0.17em}=\hspace{0.17em}0$ $(1\le k\le n)$，他就会很开心。

他能选出多少不同组的室友呢？由于答案很大，请输出答案对 ${10}^9+7$ 取模之后的结果。